型號 | 真空等離子清洗機(jī)NE-PE80F |
等離子體發(fā)生器頻率 | 13.56MHz |
射頻電源功率 | (0~600)W 可調(diào) |
工作真空度 | 30~150Pa |
反應(yīng)倉工作溫度 | 30~60℃ |
氣體流量 | (0~200)ml/min |
控制方式 | 采用觸摸屏人機(jī)界面的PLC控制 |
腔體材質(zhì) | 不銹鋼/鋁合金 |
輸入電壓 | 380×(1±10%)V(AC) 50Hz~60Hz 三相五線 |
氣體通道 | 標(biāo)準(zhǔn)兩路,可增加,可通入氧氣氬氣氮?dú)獾?/span> |
設(shè)備功率 | ≤4kW |
外形尺寸 | L1200×W1100×H1850(mm) |
反應(yīng)倉尺寸 | W450mm×H400mm×D470mm |