大氣微波等離子清洗機(jī)優(yōu)點(diǎn)

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2025-04-23

直流高壓放電等離子體必然有電極,電極的引入使得其在產(chǎn)生等離子體的同時(shí)不可避免的損傷電極或者使得電極中的材料對(duì)等離子體作用樣本產(chǎn)生污染,再加之這類等離子體具有很高的電壓,因此被限制了適用范圍。射頻等離子體源中的許多結(jié)構(gòu)可以避免電極污染,但是其產(chǎn)生等離子體的電離度和等離子體密度依舊是偏低的,且低頻下所需的電場(chǎng)很高,對(duì)人而言依舊存在不安全性。將電源頻率進(jìn)一步提高,人們很自然地想到了微波等離子體源。微波是指頻率從300MHz到3000GHz的電磁波,根據(jù)中華人民共和國(guó)及國(guó)際無(wú)線電有關(guān)組織的規(guī)定,民用的微波能應(yīng)用主要集中在915MHz及2.45GHz附近的兩個(gè)頻段上。

微波激發(fā)等離子體是一種新的等離子體激發(fā)方法,工作氣體被微波中不斷高速變化的電場(chǎng)電離為等離子體形態(tài)。在標(biāo)準(zhǔn)大氣下通過微波能作為激發(fā)源激發(fā)產(chǎn)生的等離子體被稱為大氣微波等離子體,通常根據(jù)產(chǎn)生等離子體電子溫度的差異,將大氣微波等離子體分為熱等離子體和冷等離子體。大氣微波等離子體清洗機(jī)是產(chǎn)生低溫大氣等離子體射流的裝置，結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單且操作容易;并且能夠產(chǎn)生低溫大氣等離子體射流于開放的空氣環(huán)境中,不需要真空系統(tǒng),減少了設(shè)備的投入,降低了制作與維修成本。

大氣微波等離子清洗機(jī)優(yōu)點(diǎn)

低溫大氣微波等離子清洗機(jī)具有傳統(tǒng)的微波等離子體優(yōu)點(diǎn)及電感耦合等離子體的優(yōu)點(diǎn),同時(shí)也克服了兩者的一些缺陷。因而,低溫大氣微波等離子清洗機(jī)具有如下特點(diǎn):

1、由于微波放電與直流、交流以及射頻放電相比,具有更高的電子溫度和更低的工作壓強(qiáng),因而可以提供更高的電離度及離解度。

2、低溫大氣微波等離子體沒有高壓鞘層以及離子壁濺射,放電時(shí)沒有內(nèi)部電極,炬焰也不會(huì)與炬管進(jìn)行接觸,且炬焰根部溫度比較低,因此不會(huì)對(duì)電極造成腐蝕,降低了電極材料對(duì)微波放電產(chǎn)生等離子體的污染。

3、低溫大氣微波等離子體清洗機(jī)具有較強(qiáng)的激發(fā)能力,在開放的大氣環(huán)境中能夠以氬氣為工作氣體產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體射流。

4、由于低溫大氣微波等離子體清洗機(jī)能夠在大氣環(huán)境中產(chǎn)生等離子體射流,且空氣中具有N2和O2等物質(zhì)的存在,因而,其具有復(fù)雜的發(fā)射背景。

5、低溫大氣微波等離子體清洗機(jī)可以穩(wěn)定產(chǎn)生等離子體的氣體壓強(qiáng)范圍比直流或射頻放電更寬。