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半導(dǎo)體等離子清洗機

半導(dǎo)體等離子清洗機

  • 產(chǎn)品型號：NE-PE60F
  • 性能特點：核心部件采用進口元器件，整機穩(wěn)定性能高
  • 產(chǎn)品用途：半導(dǎo)體器件清洗
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
半導(dǎo)體等離子清洗機為低溫低壓射頻等離子清洗設(shè)備，其原理是基于真空狀態(tài)下，利用射頻源激發(fā)形成的高壓交變電場將工藝氣體震蕩成等離子體，用等離子體通過化學(xué)或物理作用時對工件（生產(chǎn)過程中的電子元器件及其半成品、零部件、基板、印制電路板）表面進行處理，實現(xiàn)分子水平的污漬、沾污去除（一般厚度在3nm～30nm），提高表面活性。其機理主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”，達到去除物體表面污漬的目的，其通常包括無機氣體被激發(fā)為等離子態(tài)、氣相物質(zhì)被吸附在固體表面、被吸附基團與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子、產(chǎn)物分子解析形成氣相、反應(yīng)殘余物脫離表面等過程。

半導(dǎo)體封裝等離子清洗機常見應(yīng)用：

在半導(dǎo)體封裝行業(yè)中，使用等離子清洗技術(shù)，目的是增強焊線/焊球的焊接質(zhì)量及芯片與環(huán)氧樹脂塑封料之間的粘結(jié)強度。

封裝工藝直接影響引線框架芯片產(chǎn)品的成品率，而在整個封裝工藝環(huán)節(jié)中出現(xiàn)問題的最大來源就是芯片與引線框架上的顆粒污染物、氧化物及環(huán)氧樹脂等污染物。針對這些不同污染物出現(xiàn)環(huán)節(jié)的不同，在不同的工序前可增加不同的等離子清洗工藝，在半導(dǎo)體封裝中，等離子清洗技術(shù)越來越多地用于倒裝填料前基板填料區(qū)域的活化清洗、鍵合前鍵合焊盤的去污清洗、塑封包封前基板表面的活化清洗等。
半導(dǎo)體封裝等離子清洗機應(yīng)用位置

半導(dǎo)體封裝等離子清洗工藝位置
 
晶圓清洗：等離子清除殘留光刻膠。
封裝點銀膠前：等離子清洗使工件表面粗糙度及親水性大大提高，有利于銀膠平鋪及芯片粘貼，同時可大大節(jié)省銀膠的使用量，降低成本。
壓焊前清洗:等離子清潔焊盤，可以改善焊接條件，提高焊線可靠性及良率。
塑封：等離子清洗提高塑封料與產(chǎn)品粘結(jié)的可靠性，減少分層風(fēng)險。
BGA、PFC基板清洗：在貼裝前對基板上的焊盤進行等離子體表面清洗，可使焊盤表面達到清潔、粗化和活化的效果，極大地提高了貼裝的一次成功率。
管座管帽的清洗：管座管帽若存放時間較長，表面會有陳跡且可能有污染，先對管座管帽進行等離子體清洗，去除污染，然后封帽，可顯著提高封帽合格率。
引線框架清洗：經(jīng)等離子清洗可達到引線框架表面超凈化和活化的效果，提高芯片的粘接質(zhì)量。
引線框架等離子清洗

半導(dǎo)體等離子清洗機完全可以實現(xiàn)對半導(dǎo)體器件的干凈清洗，清洗后的產(chǎn)品表面水滴角會明顯減小，能有效去除其表面的污染物和顆粒物，能夠有效提高引線鍵合的強度和改善封裝時的分層現(xiàn)象。最大的優(yōu)點是可實現(xiàn)各種尺寸和各種結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的干凈清洗，無廢液、無污染源產(chǎn)生。
 
型號 NE-PE60F
腔體材質(zhì) 不銹鋼或者鋁合金可選
功率 0-600W
等離子發(fā)生器頻率 13.56MHz
控制方式 10英寸觸摸屏（自動+手動模式）
極限真空 2Pa
氣體通道 3路
設(shè)備功率 ≤3kW
工作真空度 10～150Pa
反應(yīng)倉尺寸（W*H*D） 450*360*470
外形尺寸（W*H*D） 1100*1850*1200
電源 AC380V/50Hz

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