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210L真空等離子清洗機(jī)NE-PE210F

  • 產(chǎn)品型號:NE-PE210F
  • 性能特點(diǎn):處理空間大,清洗效率高,等離子處理均勻
  • 產(chǎn)品用途:對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料表面清洗活化改性
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
該設(shè)備為低溫負(fù)壓/真空等離子清洗機(jī),其中比較核心的關(guān)鍵等離子清洗原理是基于由真空泵在腔體中抽出的真空低壓狀態(tài)下,利用射頻源激發(fā)形成的高壓交變電場將氧氣或氬氣等工藝氣體高速運(yùn)動及震蕩成對應(yīng)的等離子體,與物體材料表面的微顆粒污染物或者有機(jī)污染物進(jìn)行物理碰撞或者發(fā)生化學(xué)反應(yīng),進(jìn)而形成揮發(fā)性物質(zhì),最后再由真空泵將這些易揮發(fā)性的物質(zhì)排出腔體外部,從而達(dá)到清潔及活化物體材料表面的目的。其最大特點(diǎn)是可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗,該射頻等離子清洗機(jī)操作簡單,單次可清洗數(shù)量比較大,又無廢液,污染源產(chǎn)生。
 


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):


射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào),頻率選擇為13.56MHz,同時采用電源匹配系統(tǒng)來調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗,以保證最佳的等離子密度和可重復(fù)性。
電極板主體由不銹鋼材料制成,通過電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通,電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中,整個電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距,以獲得最合適的等離子體。
平行平板型的電極結(jié)構(gòu),使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體,并且也能提供最大的樣品裝載能力,因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量,同時采用高穩(wěn)定性的真空泵來實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
前設(shè)開門,后方開排氣孔、電源線孔,側(cè)面開進(jìn)氣孔,以便于形成動態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體,耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好,沖壓彎曲等熱加工性好,無磁性。
用PLC控制,工藝過程全自動完成,具有良好的互鎖和報(bào)警功能。

真空等離子清洗機(jī)的最大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類型,均可進(jìn)行處理,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理,并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。等離子體清洗還具有以下幾個特點(diǎn):容易采用數(shù)控技術(shù),自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。


項(xiàng)目 型號規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-1000W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動抗阻匹配,遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 600*600*600(寬高深)
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 9層
腔體容積 200L
工作托盤 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選(鋁絲,鋼絲網(wǎng))
電極板分布方式 平板電極,可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加(氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 1350*1750*1200(寬*高*深)

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