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真空等離子清洗機(jī)與大氣等離子清洗機(jī)區(qū)別對比


 大氣等離子清洗機(jī)和真空等離子清洗機(jī)主要區(qū)別在于產(chǎn)生等離子體及維持條件的關(guān)鍵在于是否存在真空系統(tǒng)。從當(dāng)前的實(shí)際情況看，大氣等離子體的實(shí)現(xiàn)條件簡單，設(shè)備制造及維護(hù)成本都比真空等離子體低，且離子源具有可移動性；無需真空系統(tǒng)意味著等離子體材料加工便捷，被加工材料的尺寸不受真空腔室的限制，整個工藝流程實(shí)現(xiàn)了自動化連續(xù)性生產(chǎn)，大大節(jié)約了時間成本，進(jìn)一步降低了等離子體材料的加工成本。

大氣等離子清洗機(jī)與真空等離子清洗機(jī)的主要區(qū)別見表一

設(shè)備類型 真空等離子清洗機(jī) 大氣等離子清洗機(jī)
外觀 等離子體在真空腔體內(nèi)產(chǎn)生，需要使用真空泵維持特定真空度 等離子體產(chǎn)生后噴出，直徑與筆相當(dāng)；可排成陣列或以馬達(dá)帶動旋轉(zhuǎn)
生產(chǎn)方式 批次式，亦可做成連續(xù)式 但成本大幅提高 連續(xù)式，通常與滑臺或機(jī)械手臂搭配使用
使用氣體 任何氣體都可以 N2、O2、air 為主，可混入其他氣體，但需 注意廢氣處理問題
氣體用量 <1L/min 約 10-30L/min
等離子體有效范圍 等離子體由電極產(chǎn)生，充滿整個腔體 等離子體在電極間產(chǎn)生后被氣流帶出，有效范圍 2~80mm
靜電問題 沒有靜電損傷問題 噴嘴經(jīng)特殊設(shè)計后沒有靜電擊傷問題
適合材料 無限制 無限制
工件尺寸 中小尺寸， 尺寸愈大，真空腔體就愈 大，設(shè)備造價將大幅提高 無限制
時效性 與常壓相比時效性較長 較真空時效短
真空等離子清洗機(jī)與大氣等離子清洗機(jī)對比（表一）

除了表一所列差異外，真空等離子清洗機(jī)由于密閉腔體容易控制氣氛，可以得到較純的等離子體。且因?yàn)閴毫Φ?，等離子體可以擴(kuò)散的距離較遠(yuǎn)，等離子體因碰撞所損失的能量也較小，因此真空等離子清洗機(jī)有較好的處理效率；由于壓力夠低，sputter效應(yīng)也有助于提高清潔速度，甚至可以去除無機(jī)污染物。密閉的環(huán)境及所需氣體用量少，因此可以使用特殊氣體、增加制程彈性及更廣的應(yīng)用范圍。因此對于產(chǎn)品品質(zhì)要求較高、需要使用特殊氣體、產(chǎn)品單價較高、產(chǎn)品形狀較復(fù)雜(3D)、或產(chǎn)量較小的工件，建議采用真空等離子清洗機(jī)。

大氣等離子清洗機(jī)相較于真空等離子清洗機(jī)：(1)等離子體范圍較集中于電極，(2)加上大氣壓下因?yàn)榕鲎草^頻繁，有相當(dāng)大比例的等離子體能量轉(zhuǎn)換成熱，需要使用較大量的氣體冷卻電極，并提高通過電極的等離子體流速，將等離子體中活性物質(zhì)快速帶到被處理物表面，因此大氣等離子體一般都使用較便宜的氣體如乾淨(jìng)空氣(CDA)或氮?dú)?N2)。由于大氣等離子清洗機(jī)沒有真空腔體的限制且等離子噴頭占地面積小，容易與自動化產(chǎn)線結(jié)合成In-line方式，大量處理工件，省下可觀的人力費(fèi)用，更能節(jié)省因?yàn)榘徇\(yùn)工作衍生破片造成的良率問題。對于產(chǎn)量大、需要in-line處理、平面型工件及面積較大的工件建議采用大氣等離子清洗機(jī)。

除了以上區(qū)別，真空等離子清洗機(jī)由于可以通入更多反應(yīng)氣體，工藝參數(shù)可控范圍大，所以真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用范圍較大氣等離子清洗機(jī)更廣。
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