变态另类zoz0另类,青青草国产成人AV片免费,特级小箩利无码毛片,亚洲AV无码久久精品狠狠爱7

當(dāng)前位置：主頁 > 等離子體技術(shù) > 知識庫 >

薄膜刻蝕技術(shù)


薄膜刻蝕技術(shù)是采用化學(xué)方法、物理方法、或者利用物理化學(xué)方法，有選擇地將相應(yīng)的薄膜去除，從而在襯底上留下設(shè)計的相應(yīng)圖形?？涛g技術(shù)包括干法刻蝕和濕法腐蝕工藝，干法刻蝕技術(shù)是一種利用反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)對硅或者介質(zhì)薄膜進(jìn)行各項異性刻蝕加工的技術(shù)。其利用刻蝕設(shè)備將刻蝕氣體等離子化，通過設(shè)備內(nèi)部電磁場的耦合作用，粒子定向加速運動，轟擊所要刻蝕表面，進(jìn)行材料的去除。濕法刻蝕技術(shù)是一種利用材料與溶液之間的化學(xué)反應(yīng)，從而將材料進(jìn)行刻蝕的技術(shù)。在工藝加工過程中，刻蝕技術(shù)的選擇需要根據(jù)材料在器件中的位置和材料之間的相互關(guān)系來選擇。根據(jù)技術(shù)特點，干法刻蝕具有橫向刻蝕小、線條保行性好的特點，常用來對精細(xì)結(jié)構(gòu)的刻蝕或器件縱向厚度的精確刻蝕。濕法刻蝕具有各向同性的特點，特別地，對于硅腔體的刻蝕、金屬種子層的去除等，具有工藝簡單、成本低的優(yōu)點。因此，刻蝕技術(shù)的選擇與器件刻蝕結(jié)構(gòu)的特點有關(guān)系。

干法薄膜刻蝕技術(shù)

對于MEMS器件結(jié)構(gòu)中介質(zhì)層薄膜，常采用干法刻蝕技術(shù)。根據(jù)等離子體的不同，分為電容耦合等離子體（CCP）刻蝕和電感耦合等離子體（ICP）刻蝕。為了得到較高的刻蝕速率，通常采用ICP機進(jìn)行刻蝕，采用13.56MHz的射頻電源，施加偏置電壓，形成電場對離子進(jìn)行加速。為了保證刻蝕的方向性，要對刻蝕腔內(nèi)壓力、加速電場強等因素進(jìn)行控制。

一方面，對于所設(shè)計器件中的介質(zhì)薄膜，實驗中采用反應(yīng)離子刻蝕（Reactive Ion Ething）的方法進(jìn)行刻蝕，其是一種物理化學(xué)過程，依靠電場加速的離子對加工表面進(jìn)行轟擊和濺射刻蝕。RIE的刻蝕速率約為幾微米每分鐘?？涛g氣體通常是幾種氣體的組合，不同的氣體提供多種功能。為了實現(xiàn)良好的結(jié)構(gòu)形貌，當(dāng)在刻蝕氣體中添加氧化劑時，能夠增加刻蝕成分的濃度，抑制聚合物的產(chǎn)生；添加阻擋層形成劑，可以促進(jìn)側(cè)壁阻擋層的形成，提高選擇比等。采用CF4和CHF3的混合氣體作為刻蝕氣體，其刻蝕的主要過程如下。
CHF3→CHF*2、CF*3、F*、H*
CF4→CF*3+CF*2+CF*+F*
F*+H*→HF↑
Si+F*→SiF4↑
Si3N4+F*→SiF4↑+N2↑
采用干法刻蝕技術(shù)刻蝕后的氮化硅薄膜如下圖1所示。
干法刻蝕后標(biāo)記形貌圖
圖1 干法刻蝕后標(biāo)記形貌圖
濕法薄膜刻蝕技術(shù)

另一方面，所設(shè)計器件中封裝帽的腔體刻蝕、種子層的去除、電極的制備等工藝采用濕法刻蝕技術(shù)。其中溶液的選擇要注意對結(jié)構(gòu)的選擇性。例如在RF MEMS開關(guān)的封裝帽制備中采用氫氧化鉀（KOH）溶液濕法刻蝕工藝對硅帽進(jìn)行濕法刻蝕。在RF MEMS開關(guān)的電極制備中采用50℃的磷酸（H3PO4）對制備的鋁電極進(jìn)行腐蝕，得到所需要的電極圖形，如圖2所示。

電極圖
 
Copyright © 國產(chǎn)等離子清洗機廠家 深圳納恩科技有限公司 版權(quán)所有 網(wǎng)站地圖 粵ICP備2022035280號
TOP
动漫h| 久久久久一区二区三区四区| 亚洲国际精品| 亚洲少妇一区| 一本久久a久久精品vr综| 日韩一区二区中文| 欧美五月丁香| 亚洲无码久久w| 色妞网站| 日本熟妇性| 久久国产播放| 日韩亚A∨无码一区二区三区四平| 日本人妻| 欧美精品乱码久久久久久| 激情综合色综合啪啪开心| 亚洲综合一区欧美激情,欧美精品 狼人大香伊蕉国产WWW亚洲 | 国产一区二区三区久久综合| 精品瓯美| 香蕉狠久久视| 超碰免费开房| 六月丁香综合激情在线乱码| 国产精品乱码毛片在线看| 狼友视频在线| 亚洲小说图片视频| 亚洲风骚人妻视频| 日韩不卡高清无码免费视频| AⅤ无码| 国产涩爱AV一区二区在线观看| 久久er综合| 乱XXX乱XXX| 成人亚洲性情网WWW| 欧美另类精品不卡| av小说区在线观看| 成人精品视频99在线观看免费| 草久久av| 色一区二区三区| 欧美黄片s| 精品日韩一区二区| 国产日韩欧美一区二区| 日本九九一区| 国产毛片一级久久久久|