变态另类zoz0另类,青青草国产成人AV片免费,特级小箩利无码毛片,亚洲AV无码久久精品狠狠爱7

當(dāng)前位置：主頁 > 等離子體技術(shù) > 知識庫 >

等離子刻蝕方式分類


等離子刻蝕分類根據(jù)方式不同有不同的分類內(nèi)容。按照實現(xiàn)產(chǎn)生等離子體的設(shè)備類型可以分為容性耦合等離子刻蝕（Conductively Coupled Plasma,CCP）、感性耦合等離子刻蝕（Inductively Coupled Plasma,ICP）以及微波電子回旋共振等離子體刻蝕（microwave ElectronCyclotron Resonanceplasma,ECR)；按照等離子體工作的氣壓狀態(tài)可以分為低壓等離子刻蝕和大氣壓等離子刻蝕。

（1）容性耦合等離子刻蝕（CCP)
刻蝕設(shè)備等離子體產(chǎn)生結(jié)構(gòu)主要由上下兩塊金屬極板構(gòu)成，上電極接射頻偏壓，下電極接地，與電容結(jié)構(gòu)類似，如圖1.1所示。通過射頻偏壓的作用在兩電極之間產(chǎn)生電場，電子獲取能量與氣體分子碰撞產(chǎn)生等離子體，實現(xiàn)對材料表面的刻蝕。由于設(shè)備結(jié)構(gòu)的限制，該類型產(chǎn)生的等離子體密度較小，但均勻性好，并且設(shè)備成本低，廣泛應(yīng)用于材料表面處理。
容性耦合等離子體源
圖1.1容性耦合等離子體源
 

（2）感性耦合等離子體刻蝕（ICP）
刻蝕設(shè)備等離子體產(chǎn)生結(jié)構(gòu)主要由電感線圈構(gòu)成，線圈接射頻電源，如圖1.2所示。由于電流的反復(fù)變化，在腔室中會產(chǎn)生交變磁場，進而產(chǎn)生交變電場。處于電場中的電子會加速與氣體分子碰撞然后電離產(chǎn)生等離子體，實現(xiàn)對材料表面的刻蝕。該類型產(chǎn)生的等離子體密度與能量較高，具有較好的各向異性、可單獨控制偏壓等優(yōu)點，但設(shè)備成本較高，應(yīng)用多集中于集成電路刻蝕工藝中。
感性耦合等離子體源
圖1.2 感性耦合等離子體源 
 

（3）微波電子回旋共振等離子體刻蝕（ECR）
刻蝕設(shè)備構(gòu)造非常復(fù)雜，該型等離子體源于上世紀八十年代由Dr.H.Pistma等人發(fā)現(xiàn)，被應(yīng)用很多重要技術(shù)領(lǐng)域，如芯片刻蝕領(lǐng)域。其主要通過外部微波的作用，使氣體分子的電子與微波達到共振狀態(tài)，使得電子獲得源源不斷的能量，加大碰撞次數(shù)，產(chǎn)生高密度等離子體。該類型產(chǎn)生的等離子體密度最高，能量轉(zhuǎn)化率也很高，同時可通過調(diào)控磁場間接去控制產(chǎn)生的等離子體的離子密度和能量，但是設(shè)備構(gòu)造非常復(fù)雜，成本非常高，因而在工程應(yīng)用中并不多見。

（4）大氣壓等離子刻蝕
大氣壓等離子刻蝕指產(chǎn)生刻蝕等離子體的空間并非密閉，等離子體處于大氣壓狀態(tài)下。該類型產(chǎn)生等離子的環(huán)境開放，這也導(dǎo)致了其刻蝕過程中涉及到的各種反應(yīng)十分復(fù)雜?？涛g設(shè)備制造和成本很低，同時等離子體源可移動性高，操作簡便，工程應(yīng)用較廣，但是對于非常復(fù)雜、帶有內(nèi)凹型孔穴的表面難以處理。

（5）低氣壓等離子刻蝕
低氣壓等離子刻蝕指產(chǎn)生刻蝕等離子體的空間密閉，等離子體處于低氣壓狀態(tài)下。該類型等離子與大氣壓等離子相比，具有成分可控、能量可調(diào)節(jié)等一系列特點，同時對材料表面改性的作用效果較好，設(shè)備使用簡單，因此在實驗室等科研機構(gòu)應(yīng)用廣泛。
Copyright © 國產(chǎn)等離子清洗機廠家 深圳納恩科技有限公司 版權(quán)所有 網(wǎng)站地圖 粵ICP備2022035280號
TOP
韩国av一区二区| 日韩高清一区二区三区四区| 久久久久久久一区| 日本亚洲最大的色成网站www| 国产精品久久久久久久精品三级 | 亚洲AV成人无码久久精品牛牛| 国产凹凸在线一区二区| 阿v天堂在线| 777亚洲精品乱码久久久久久| 国产无遮挡18禁无码网站免费| 色青青草免费色| 金昌市| 国产成在线观看免费视频成本人| 欧美日韩123区| 草草狠狠网站| 91av网站免费| 天堂色区| 久久逼逼网站| 中文字幕无码视频老司机| 小草影院| 一本大道av在线播放| 欧美国产日韩综合| 9999re| 在线日韩一区| 乱人伦亚洲欧美一区二区久久| 男人av红色社区在线观看| 亚洲第一页乱| 中文字幕巨乱亚洲| 美女 蜜臀 久色| 国产蜜臀97一区二区三区| 激情五月丁香婷婷| 人妻丰满AV| .爱爱影音av| 欧美三级不卡| 久久精品一级无码A| 国产精品 欧美另类| 久9热这里有真品8| 日韩天天操| 香蕉视频久久久久| 狂野欧美性猛XXXX乱大交| 欧美日韩2|