变态另类zoz0另类,青青草国产成人AV片免费,特级小箩利无码毛片,亚洲AV无码久久精品狠狠爱7

高頻放電(Radio-FrequencyDischarge)


高頻放電的頻率一般為10M～100MHz，這一頻率屬于無線電頻譜范圍，因此又稱為射頻(RF)放電，根據(jù)國際通用的規(guī)則射頻放電的頻率為13.56MHz。射頻放電能產(chǎn)生和維持高密度、連續(xù)、均勻的等離子體，高頻放電時(shí)，由于頻率很高，帶電粒子在電場周期內(nèi)還未運(yùn)動到極板，電場就發(fā)生了改變，帶電粒子在電場作用下向反方向移動，如此往復(fù)形成振蕩，因?yàn)榱Ｗ拥倪\(yùn)動行程很長，增加了與氣體分子碰撞的機(jī)率，電離度比直流輝光放電高出幾個數(shù)量級，而且可以在較低的電壓下維持。射頻放電在較高和較低的氣壓下都能放電，在工業(yè)中有不同應(yīng)用。與直流放電相比，射頻放電有以下優(yōu)勢：

1. 較低的氣壓條件下仍能放電，放電維持能量低，由于帶電粒子在極間做往復(fù)運(yùn)動，大大增加了電離機(jī)率，因此在較低的氣壓條件下仍能夠維持放電，形成穩(wěn)定的等離子體，最低壓強(qiáng)可達(dá)10-1Pa。
2. 射頻放電的粒子運(yùn)動機(jī)制決定了具有較高的電離度。
3.等離子體分布均勻。

射頻放電裝置有很多種結(jié)構(gòu)型式，根據(jù)電極在放電室的位置區(qū)分，可分為外電極和內(nèi)電極；根據(jù)射頻電源的耦合方式區(qū)分，可分為電容耦合和電感耦合，如圖1-1所示。
射頻放電裝置示意圖
圖1-1 射頻放電裝置示意圖 
(a) 電容耦合 ; (b) 電感耦合
 
電容耦合式多采用平板式電極，電極位于放電室內(nèi)，在兩極板之間加射頻功率，電場激發(fā)放電，并形成穩(wěn)定的等離子。電容耦合式結(jié)構(gòu)簡單，等離子密度較直流放電高很多，尤其是大規(guī)模生產(chǎn)的化學(xué)反應(yīng)裝置，平板式電極放電區(qū)域大、穩(wěn)定性好、效率高，很容易獲得大面積的加工處理能力。

外電極放電通常采用電感耦合式，用纏繞在放電管外部的感應(yīng)線圈代替電極，利用高頻磁場在放電管內(nèi)感應(yīng)的二次電場來產(chǎn)生等離子體，這種方式感應(yīng)耦合線圈安裝在真空室外，內(nèi)部無電極，不存在濺射污染問題，同時(shí)感應(yīng)耦合式產(chǎn)生的等離子體比較均勻，能滿足高純材料的制備和高精度的清洗要求。
Copyright © 國產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家 深圳納恩科技有限公司 版權(quán)所有 網(wǎng)站地圖 粵ICP備2022035280號
TOP
国产在线观看| 97超碰二区三区人体艺术| 日韩zc在线| 91丨九色丨高潮丰满| 久久久xxx| www.欧美一级.com| 人妻丰满熟妇av无码区免| 欧美伊人色综合久久天天| 91色欧美国产| 亚洲AV午夜福利精品无码| 国产精品久久久久久久妇| 亚洲另类欧美另类| 日韩AV一区二区中文字幕| 高清久综合| 青青乱伦免费观看视频| 亚洲欧洲日韩| 久久亚洲AV日韩AV无码A| 日韩欧美亚洲综合| 婷婷五月天综合区| 99欧美在线| 蜜臀av在线播放免费| 99久久精品免费| 欧美日韩品中久字幕一区二区三区| 亚洲日产aV中文字幕无码DVD| 欧美狠狠操| 精品成人久久久三级蜜桃| 在线伊人呦呦| 色视频在线观看www93| 日韩欧美国产另类男男| 婷婷一本五月天| 九九专区一线二线三线| 国产精品无码2021在线观看| 欧美婷婷五月频道播放| 2020精品国产自在现线看| 亚洲综合亚洲123| 五月婷婷网| 欧美黄色片在线看网| 久久久久黄色视频| 亚洲最大色大成人av| 55夜色66夜色国产精品视频| 国产精品一区二区久久精品|