真空等離子清洗機(jī)設(shè)備報(bào)警原因分析及其解決辦法
文章出處：等離子清洗機(jī)廠(chǎng)家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-09-27
真空等離子清洗機(jī)作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗設(shè)備，可以有效去除表面污染物，該設(shè)備具有清洗快速、安全環(huán)保、低溫經(jīng)濟(jì)、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于刻蝕、表面活化、材料改性、表面清洗等領(lǐng)域。現(xiàn)將我司真空等離子清洗機(jī)系列設(shè)備多年來(lái)運(yùn)行中的常見(jiàn)報(bào)警故障和典型案例進(jìn)行匯總分析，并將報(bào)警現(xiàn)象、維修過(guò)程和故障總結(jié)進(jìn)行簡(jiǎn)要陳述，以便于廣大用戶(hù)遇到類(lèi)似或者相同故障進(jìn)行借鑒參考。
1、真空等離子清洗機(jī)顯示氣體壓力過(guò)低,工作氣體耗盡報(bào)警
出現(xiàn)這種故障時(shí)，可能是氣體未開(kāi)啟或氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線(xiàn)路有無(wú)出現(xiàn)斷路或短路的現(xiàn)象。
2、真空泵倒計(jì)時(shí)時(shí)間故障
當(dāng)遇到此類(lèi)故障時(shí)需要先檢查真空泵抽真空能力，故障排除后再點(diǎn)擊復(fù)位鍵，出現(xiàn)滲氣或真空門(mén)未關(guān)到位都會(huì)影響真空泵抽真空能力。除了這些外還需要逐級(jí)檢查等離子真空處理系統(tǒng)中的各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞的情形。
3、壓縮空氣壓力低于設(shè)定值報(bào)警
此報(bào)警也叫破空氣體壓力過(guò)低報(bào)警，是因?yàn)閴嚎s空氣的氣壓不足導(dǎo)致的，主要出現(xiàn)于配有高真空氣動(dòng)擋板閥的真空等離子清洗機(jī)，出現(xiàn)此報(bào)警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣到設(shè)備端。確認(rèn)供氣壓力有無(wú)過(guò)高或過(guò)低，還要看減壓表的報(bào)警值設(shè)定是否正確，處理這些之外還要再對(duì)電氣線(xiàn)路進(jìn)行檢查。
4、真空計(jì)故障報(bào)警
真空計(jì)故障報(bào)警最可能的原因就是由于真空計(jì)損壞造成的，這時(shí)需要我們檢查真空計(jì)的控制線(xiàn)路是否有斷路和短路的情況。
5、真空等離子清洗機(jī)的急停未復(fù)位或已按下報(bào)警
此時(shí)需檢查急停是否被按下，若是未出現(xiàn)這類(lèi)情況，就要檢查急停線(xiàn)路。
6、RF匹配異常報(bào)警
調(diào)節(jié)射頻等離子體的入射功率和反射功率,使發(fā)生器與等離子體阻抗相匹配
7、反應(yīng)倉(cāng)泄露率過(guò)大報(bào)警
檢查真空腔體的氣密性，看是否有哪里漏氣，檢查各連接處的漏率，對(duì)于泄漏點(diǎn)的處理方法主要是對(duì)密封件進(jìn)行定期檢查并及時(shí)更換，這樣就避免了由于密封件老化等原因引起的高真空抽不到預(yù)設(shè)值的情況。
8、真空等離子清洗機(jī)的真空泵過(guò)載保護(hù)
當(dāng)真空等離子清洗機(jī)出現(xiàn)報(bào)警情況時(shí)，其中有一種可能就是真空泵過(guò)載保護(hù)，在發(fā)生此類(lèi)情況時(shí)，需要先檢查系統(tǒng)參數(shù)有沒(méi)有變化，因?yàn)樵谶@種情況下，設(shè)備會(huì)中止供電，系統(tǒng)的各參數(shù)會(huì)歸零，于是才會(huì)響起警報(bào)聲，如果經(jīng)過(guò)檢查后系統(tǒng)參數(shù)并沒(méi)有發(fā)生變化，就需要確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵后啟動(dòng)真空等離子處理系統(tǒng)的真空發(fā)生系統(tǒng)。如無(wú)自動(dòng)保護(hù)，就需要檢查電氣線(xiàn)路是否有斷路或短路情況。若是以上均無(wú)異常情況，就再檢查真空泵情況。
以上是真空等離子清洗機(jī)常見(jiàn)報(bào)警原因分析和解決方案的匯總分析。最后需要強(qiáng)調(diào)的是平時(shí)還應(yīng)該加強(qiáng)培訓(xùn)操作使用人員，所有操作者必須掌握該設(shè)備的操作方法、性能、注意事項(xiàng)、維護(hù)保養(yǎng)，所有人員嚴(yán)格按照操作規(guī)程使用設(shè)備，所有操作者能知曉該設(shè)備的各種報(bào)警信息和如何處理故障。定期做真空漏率測(cè)試，以保證較好的高真空度，定期清洗反應(yīng)腔室，尤其是上電極以及氣體噴淋孔。
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