等離子清洗機腔體電極結構對清洗效果的影響

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-07-11

等離子清洗技術在光學工業(yè)、微電子工業(yè)、汽車工業(yè)、航空航天工業(yè)、高分子工業(yè)和污染防治工業(yè)等諸多領域廣泛應用。近年來，如何實現高效環(huán)保的等離子清洗已是等離子清洗設備研究領域的熱點。

等離子清洗機清洗效果會因電極布局不同而有著明顯差別，主要影響因素有電極選用材質、正負極板布局和腔體尺寸大小等。對于電極內嵌等離子清洗系統(tǒng)，電極完全暴露在等離子體區(qū)內，而有些材質的電極會被一些等離子體局部刻蝕或產生濺射現象，導致不必要的污染還可能引起電極尺寸的微觀變化，進而降低等離子清洗系統(tǒng)的穩(wěn)定性。等離子清洗速度和均一性受電極正負極板布局影響較大，通過縮短電極間距的方式來獲取快速等離子清洗，將其限制等離子體區(qū)域從而得到濃度很高的等離子體。電極間距增加后清洗速度開始下降但均勻性漸漸增強，通常電極尺寸會限制等離子真空腔體的整體容量，在采用平行電極布局的等離子清洗設備內，電極一般是作為料盒托架，大尺寸的電極單次能夠清洗的產品也比較多，可大大提高設備的運行效率。而在采用垂直電極布局的等離子清洗設備內，電極間距和電極深度約定了真空腔體的整體容量。

而電極本身材質也會受到等離子體的影響，應當通過改變電極間距來適應等離子體特性的各種需求，在滿足工藝條件的情況下最大化料盒托盤使用面積。電極板主體由鋁板制作而成，外表作絕緣涂鍍處理，通過鋁板上電極端子與電源正極或負極接通，電極板可采取平行或垂直方式安裝于真牢反應腔體rfl，電極板的極性與電極間距可按照不同應用需求進行選擇，便于激發(fā)出符合應用要求的等離了體，也可以適當改變真窄腔體的尺寸來增加料盒托盤的數量和長寬深等尺寸，提高清洗設備的利用率。

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