氧等離子清洗機(jī)不能輝（發(fā)）光產(chǎn)生等離子體的原因及解決辦法

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2023-02-17

氧等離子體清洗機(jī)的應(yīng)用主要包括清洗、引線鍵合的改進(jìn)，除渣，腫塊粘連，剝離和蝕刻，在半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)用材料等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。如圖1.1所示，氧等離子體清洗機(jī)主要由真空泵、匹配器、放電腔體、電子操控平板四個(gè)部位構(gòu)成。設(shè)備的氣流有2個(gè)進(jìn)氣口，可以同時(shí)輸入2種放電氣體。

氧等離子清洗機(jī)

氧等離子體清洗機(jī)的基本結(jié)構(gòu)及其工作原理

實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生等離子體的方式有很多種，從等離子體的性質(zhì)來(lái)講，產(chǎn)生等離子體的本質(zhì)就是氣體分子的電離。氧等離子體清洗機(jī)一般采用平行平板式電極結(jié)構(gòu)也就是容性耦合等離子體放電產(chǎn)生等離子體（如圖1.2所示）。

圖1.2 CCP等離子體放電原理示意圖

容性射頻放電等離子體（CCP）

電容耦合射頻放電是指放電的射頻電源通過(guò)電容耦合的方式施加在極板兩側(cè)，使極板中間的氣體電離產(chǎn)生等離子的放電方式。射頻電源的工作頻率在MHz量級(jí)，工業(yè)中一般用的射頻電源的放電頻率為13.56MHz。實(shí)驗(yàn)室一般用這種等離子體的產(chǎn)生方式來(lái)獲得大面積均勻的等離子體，此類的設(shè)備的放電設(shè)置的基本結(jié)構(gòu)主要由一組平行板電極組成，放電功率以電容耦合的方式加到其中的一個(gè)電極上或兩個(gè)電極上，從而產(chǎn)生等離子體。

通過(guò)介紹氧等離子體清洗機(jī)的基本原理及其設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)。根據(jù)多年維修經(jīng)驗(yàn)，分析總結(jié)了以下幾點(diǎn)氧等離子體清洗機(jī)不能產(chǎn)生輝光的現(xiàn)象并給出了相應(yīng)的解決方法。

氧等離子體清洗機(jī)不發(fā)光不產(chǎn)生等離子體的主要問(wèn)題有以下幾種情況：
（1）射頻電源損壞。措施：檢查射頻電源輸出信號(hào)、射頻電纜、匹配網(wǎng)絡(luò)，對(duì)故障點(diǎn)進(jìn)行維修。
（2）真空問(wèn)題。措施：檢查各連接處的漏率，對(duì)漏率比較大的密封圈進(jìn)行更換；檢查真空泵組。
（3）壓力過(guò)大或過(guò)低。措施：檢查氣源壓力；檢查壓力閥；檢查真空閥。

以上就是國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技總結(jié)的關(guān)于氧等離子清洗機(jī)不能產(chǎn)生輝光原因及其對(duì)應(yīng)解決辦法的一些簡(jiǎn)單介紹，如果你也有碰到設(shè)備不產(chǎn)生輝光的現(xiàn)象，可以寄回來(lái)返廠維修，我們也可以提供上門維修服務(wù)。