等離子清洗機清洗效果不好，可以嘗試從這幾個方面找原因
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-04-14
影響等離子清洗效果的因素有很多，其中最主要的是電源功率頻率、工作壓強、工作氣體種類以及清洗的時間。一般來說，等離子清洗機生產(chǎn)出來，可以調(diào)節(jié)的工藝參數(shù)只有這幾個，如果等離子清洗效果不好可以從這幾個方面找找原因，下面是關(guān)于這些工藝參數(shù)的一些說明，有助于更好的理解這些參數(shù)與等離子清洗效果的關(guān)系。
工作氣體：工藝氣體的選擇決定等離子清洗機制(物理、化學或物理/化學)。其中反應(yīng)性氣體以氫氣和氧氣等為主。氫氣放電會產(chǎn)生氫離子，利用氫離子的還原反應(yīng)，可以與基片表面的氧化污染物發(fā)生氧化還原反應(yīng)生成氣態(tài)的水分子；同樣利用氧氣放電產(chǎn)生的氧離子的氧化反應(yīng)，可以與基片表面的有機污染物發(fā)生氧化還原反應(yīng)生成氣態(tài)水分子和二氧化碳。另一類是非反應(yīng)性氣體，主要包括氦氣、氬氣和氮氣等稀有氣體，利用稀有氣體可以定向的提升金屬某一方面的物理性質(zhì)，例如氮氣可以提離材料的硬度和耐磨性。利用氬氣或氦氣可以增大等離子體的密度提高清洗的效率，同時因為是稀有氣體可以防止清洗之后的氣體再次被氧化，其主要是利用氬氣和氦氣相對穩(wěn)定的性質(zhì)，同時其放電氣壓比較低，更容易形成等離子體而轟擊金屬表面使污染物脫落被真空泵排出；如果在氬氣和氦氣等離子體中摻入適量的氧氣和氫氣等，反應(yīng)性氣體分子可以與高能亞穩(wěn)態(tài)原子碰撞發(fā)生電荷的轉(zhuǎn)換和再結(jié)合，降低了電離和活化氧和氫的電壓和能量，從而產(chǎn)生更多的活性粒子，但摻入氫氣時要注意控制氫氣質(zhì)量比以防止爆炸。
功率:增加等離子體功率是通過增加等離子內(nèi)的離子密度和離子能量來增加清潔速度和清潔強度?？墒?如果增加功率太多,可能對基板有害,并且對結(jié)果也是無效。
時間:一般來說要在最短的工藝時間達到最佳清洗效果,是工藝時間與功率、壓力和氣體類型平衡。功率的設(shè)置主要要與處理時間相平衡,增加功率可以降低處理時間,然而,會使倉體內(nèi)溫度升高。對于許多處理工藝來說,較高的溫度相當于催化劑,并且會導致不均勻或刻蝕過度。所以要想優(yōu)化處理工藝,綜合考慮這兩個參數(shù)是必須的。
等離子清洗的效果會隨著功率的增大而變好;工作壓強的選擇要根據(jù)清洗的基片進行合理選用，當以物理作用為主時應(yīng)減小壓力以增大離子能量，當以化學作用為主時要增大一些壓力，保證反應(yīng)氣體濃度，清洗時間也要保證清洗效果的同時減小能耗。
等離子清洗時間、電源功率和氣體流量。合理地改變并組合這3個工藝參數(shù)可以獲得良好的清洗效果,但盲目地改變和組合會造成時間、工作量和實驗經(jīng)費的浪費。如果這三個工藝參數(shù)都調(diào)整了還是無法獲得更好的清洗效果，可以考慮更換等離子清洗機的工作頻率，從射頻，中頻，微波這三種頻率中挑選一種更合適的。其他的如果你購買的是大氣常壓等離子清洗機發(fā)現(xiàn)清洗效果不好，可以嘗試使用真空等離子清洗機來進行實驗。
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