ITO陽極等離子處理

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2024-09-09

有機發(fā)光二極管(OLED)已經(jīng)成為新一代的平板顯示技術。它具有主動發(fā)光、驅動電壓低、響應速度快，柔性可彎曲，超輕，超薄等優(yōu)點。0LED器件一般為多層結構，其中包括陰極、陽極、電子傳輸層、空穴傳輸層和發(fā)光層。ITO同時具有透光性高、電阻率低等優(yōu)點，因此大多數(shù)的0LED器件均使用ITO作為陽極。

隨著具有優(yōu)異性能的有機材料的開發(fā)，有機電致發(fā)光器件得到了迅速的發(fā)展，并已在顯示器應用中實現(xiàn)工業(yè)化。然而，器件的效率和穩(wěn)定性仍需要得到改善，這些都與電荷的傳輸能力和電極的界面修飾有關。載體的注入效率直接決定了器件的發(fā)光特性，因此通過電極修飾提高載體注入效率是一個研究熱點。目前IT0陽極修飾主要有等離子體處理、UV紫外光處理、分子自組裝以及引入緩沖層等方法。其中,氧等離子處理是最簡單最易操作的方法，本文對0LED器件中IT0陽極修飾的等離子處理方法和原理進行了介紹。

(1)等離子體處理

等離子體處理包括氧等離子體處理、CF,H等離子體處理、氬等離子體處理、氮等離子體處理等。其中氧等離子體處理目前是最常用也是最簡單有效的方法，其具體方法將氣引入到電感耦合或者電容耦合產(chǎn)生的射頻能量場中，通過氧氣電離而導致等離子體的產(chǎn)生，提高IT0表面原子的含量。氧等離子體的組成相對復雜，包括未被離子化的氧原子、氧分子和電離產(chǎn)生的氧離子以及混合的復合基團，可以很容易地與其他原子反應形成新的價鍵或改變其他原子的鍵能。IT0的化學組成元素是氧、銦、錫，被氧等離子氣包圍的IT0，其表面的銦和錫會與氧離子形成新的價鍵改變原始鍵能，并改善IT0的表面功函數(shù)。另外，氧等離子體的活性基團還可以分解和除去IT0表面上的有機污染物等雜質。

Ar、N2等離子處理的原理是通過去除陽極ITO 表面所吸附的氧來達到清潔和提高的目的。

另一種比較常用的方法是CFH等離子體處理，該方法是將三氟甲烷氣體引入低頻能場中產(chǎn)生等離子體，進而在IT0的表面上進行聚合反應以形成氟取代的碳聚合物膜CF。形成的膜CF膜有著低電阻率和高離解能的特性，不僅能防止銦原子從ITO中擴散到活性有機層，還能夠修飾IT0表面以提高空穴的注入效率。

本文由等離子清洗機廠家納恩科技整理編輯，利用等離子處理ITO陽極具有顯著的優(yōu)點，成本低、無廢棄物、無污染，并且有時可得到傳統(tǒng)的物理和化學方法難以得到的處理效果。，從而達到清潔和提高的目的。