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真空等離子清洗機(jī)

40L真空等離子清洗機(jī)NE-PE30

  • 產(chǎn)品型號(hào)：40L真空等離子清洗機(jī)
  • 性能特點(diǎn)：NE-PE40F
  • 產(chǎn)品用途：材料表面清潔、刻蝕、活化、改性
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
本系統(tǒng)使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。其中放電系統(tǒng)由放電腔體、平行極板、工件支座和電源及匹配網(wǎng)絡(luò)組成，真空系統(tǒng)由真空泵、充氣系統(tǒng)、密封件、閥門、壓強(qiáng)感應(yīng)器組成，真空泵抽取真空并維持反應(yīng)室內(nèi)氣壓平衡，壓強(qiáng)感應(yīng)器測量反應(yīng)時(shí)的壓強(qiáng)。反應(yīng)腔體要求反應(yīng)室真空密封同時(shí)具備輻射防護(hù)。充氣系統(tǒng)由氣管、流量計(jì)和閥門組成，目的是定量向反應(yīng)室充入反應(yīng)氣體。電源使用的是固態(tài)射頻電源，具有高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能可實(shí)現(xiàn)過溫、反射功率保護(hù)?？刂葡到y(tǒng)可實(shí)現(xiàn)電源輸出功率、放電時(shí)間、氣路開關(guān)的控制。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：


高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、體積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
前設(shè)開門，后方開排氣孔、電源線孔，側(cè)面開進(jìn)氣孔，以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體。耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好，沖壓彎曲等熱加工性好，無磁性。

真空等離子清洗機(jī)清洗原理：


在清洗過程中通過射頻電源電離真空腔內(nèi)氣體產(chǎn)生等離子體，等離子體具有高能量可以通過物理作用轟擊材料表面使材料表面的污染物從金材料表面脫落，其次電離某種氣體可以產(chǎn)生對應(yīng)的活性粒子，活性粒子會(huì)與表面的有機(jī)物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)可以被真空泵排出反應(yīng)腔體達(dá)到清洗物體表面的效果。

等離子清洗的過程不使用化學(xué)試劑，不會(huì)造成二次污染;真空等離子清洗機(jī)可重復(fù)性強(qiáng)，所需設(shè)備和運(yùn)行成本比較低，而且操作靈活簡單，可以實(shí)現(xiàn)對金屬表面的整體或某些局部及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗，有些經(jīng)過等離子體清洗后的表面性能還可以得到改善，等離子清洗機(jī)在微電子工業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)等高科技領(lǐng)域的應(yīng)用將會(huì)越來越廣泛。


項(xiàng)目 型號(hào)規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-500W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動(dòng)抗阻匹配，遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 350*405*300（寬*高*深）
腔體容積 42L
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 3層
工作托盤 標(biāo)配一套，材質(zhì)可選（鋁絲，鋼絲網(wǎng)）
電極板分布方式 平板電極，可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加（氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 685*1450*830（寬*高*深）

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