真空等離子清洗機(jī)清洗工作流程及其示意圖

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-08-25

真空等離子清洗機(jī)其清洗機(jī)理是，在真空環(huán)境下，氧、氫或氬等工藝氣體，在高壓交變電場(chǎng)（由機(jī)器本身的射頻電源產(chǎn)生）的作用下生成活性很高或能量很高的離子，在接觸到被清洗的基材表面的有機(jī)雜質(zhì)或者細(xì)小的顆粒，就會(huì)發(fā)生碰撞或產(chǎn)生化學(xué)與物理上的反應(yīng)，從而生成能夠揮發(fā)的物質(zhì)，經(jīng)由機(jī)器中的真空泵以及工作氣流排出，從而將基材表面清洗干凈，它能夠完成部分或整體或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清潔，尤其適用于半導(dǎo)體、氧化物、金屬和大部分的高分子材質(zhì)的物體，優(yōu)異于其它方式清洗的就是清洗完成后不會(huì)產(chǎn)生廢液。

真空等離子清洗機(jī)清洗工作流程如下：

(1) 打開(kāi)艙門(mén)將被清洗的材料放到托盤(pán)上送入真空腔室并加以固定，設(shè)定好，氣體流量，清洗時(shí)間，功率等主要參數(shù)，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開(kāi)始抽真空，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到30Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般抽真空時(shí)間大約需要幾分鐘。
(2) 真空腔體內(nèi)開(kāi)始通入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在30Pa。
(3) 在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過(guò)輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空腔體產(chǎn)生的等離子體完全籠罩住被處理材料上，開(kāi)始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘不等。
(4) 清洗完畢后點(diǎn)擊清洗完畢確認(rèn)按鈕，同時(shí)向真空室內(nèi)鼓入空氣開(kāi)始破真空，并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。待腔體內(nèi)部氣壓恢復(fù)到大氣壓后打開(kāi)艙門(mén)取出零件。

真空等離子清洗機(jī)清洗工作流程示意圖

以上就是深圳等離子清洗機(jī)廠家納恩科技關(guān)于真空等離子清洗機(jī)清洗工作流程的簡(jiǎn)單介紹，真空等離子清洗機(jī)清洗工作流程簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是在壓力到達(dá)設(shè)定本底壓力時(shí),充入工藝氣體,當(dāng)腔內(nèi)壓力進(jìn)出動(dòng)態(tài)平衡時(shí),利用等離子電源產(chǎn)生的中高頻交變電磁場(chǎng)激發(fā)生成等離子體,對(duì)被清洗工件表面進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用,使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì),經(jīng)過(guò)抽真空排出,而達(dá)到清洗目的。

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