在線式等離子清洗機(jī)的常見(jiàn)應(yīng)用介紹
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-04-25
隨著對(duì)等離子體清洗技術(shù)的深入研究及其越來(lái)越廣泛的應(yīng)用，等離子清洗設(shè)備的需求也成倍增長(zhǎng)。在線等離子清洗機(jī)從上料到清洗完成是完全自動(dòng)化的過(guò)程，可與上下游生產(chǎn)工序連線，滿足器件封裝行業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)要求，徹底去除污物尺寸小于1μm的微殘留顆粒和有機(jī)薄膜，大幅度改善表面性質(zhì)，提高后續(xù)工序中如焊接、封裝、粘結(jié)的可靠性，從而保證電子產(chǎn)品在惡劣環(huán)境狀況下的高精度和高可靠性。下面是在線等離子清洗機(jī)的一些常見(jiàn)應(yīng)用：
在線式等離子清洗機(jī)芯片粘結(jié)前的應(yīng)用
在芯片粘結(jié)中的空隙是封裝工藝中常見(jiàn)的問(wèn)題，這是因?yàn)槲唇?jīng)清洗處理的表面存在大量氧化物和有機(jī)污染物，會(huì)導(dǎo)致芯片粘結(jié)不完全，降低封裝的散熱能力，給封裝的可靠性帶來(lái)極大的影響。在芯片粘結(jié)前，采用O2、Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，能夠去除器件表面的有機(jī)氧化物和金屬氧化物，可以增加材料表面能，促進(jìn)粘結(jié)，減少空隙，極大地改善粘結(jié)的質(zhì)量。
在線式等離子清洗機(jī)在引線鍵合前的應(yīng)用
引線鍵合是芯片和外部封裝體之間互連最常見(jiàn)和最有效的連接工藝，據(jù)統(tǒng)計(jì)，約有70%以上的產(chǎn)品失效均由鍵合失效引起。這是因?yàn)楹副P(pán)上及厚膜導(dǎo)體的雜質(zhì)污染是引線鍵合可焊性和可靠性下降的一個(gè)主要原因。包括芯片、劈刀和金絲等各個(gè)環(huán)節(jié)均可造成污染。如不及時(shí)進(jìn)行清洗處理而直接鍵合，將造成虛焊、脫焊和鍵合強(qiáng)度偏低等缺陷。采用Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，可以使污染物反應(yīng)生成易揮發(fā)的二氧化碳和水。由于清洗時(shí)間短，在去除污染物的同時(shí)，不會(huì)對(duì)鍵合區(qū)周圍的鈍化層造成損傷。因此，通過(guò)在線式等離子清洗可以有效清除鍵合區(qū)的污染物，提高鍵合區(qū)的粘結(jié)性能，增強(qiáng)鍵合強(qiáng)度，可以大大降低鍵合的失效率。
在線式等離子清洗機(jī)在銅引線框架的應(yīng)用
引線框架作為封裝的主要結(jié)構(gòu)材料，貫穿了整個(gè)封裝過(guò)程，約占電路封裝體的80%，是用于連接內(nèi)部芯片的接觸點(diǎn)和外部導(dǎo)線的薄板金屬框架。引線框架所選材料的要求十分苛刻，必須具備導(dǎo)電性高、導(dǎo)熱性能好、硬度較高、耐熱和耐腐蝕性能優(yōu)良、可焊性好和成本低等特點(diǎn)。從現(xiàn)有的常用材料看，銅合金能夠滿足這些要求，被用作主要的引線框架材料。但是銅合金具有很高的親氧性，極易被氧化，而生成的氧化物又會(huì)使銅合金進(jìn)一步氧化。形成的氧化膜過(guò)厚時(shí)，會(huì)降低引線框架和封裝樹(shù)脂之間的結(jié)合強(qiáng)度，造成封裝體發(fā)生分層和開(kāi)裂現(xiàn)象，降低封裝的可靠性。因此，解決銅引線框架的氧化物失效問(wèn)題對(duì)于提高電子封裝的可靠性起到至關(guān)重要的作用。
采用Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，可以去除銅引線框架上的氧化物和有采用Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，可以去除銅引線框架上的氧化物和有機(jī)物，能夠達(dá)到改善表面性質(zhì)，提高焊接、封裝和粘結(jié)可靠性的目的。
在線式等離子清洗機(jī)在塑料球柵陣列封裝前的應(yīng)用
塑料球柵陣列封裝技術(shù)又稱BGA，是球形焊點(diǎn)按陣列分布的封裝形式，適用于引腳數(shù)越來(lái)越多和引線間距越來(lái)越小的封裝工藝，被廣泛應(yīng)用于封裝領(lǐng)域，但是BGA焊接后焊點(diǎn)的質(zhì)量是BGA封裝器件失效的主要原因。這是因?yàn)楹附颖砻娲嬖陬w粒污染物和有機(jī)氧化物，導(dǎo)致焊球分層和焊球脫落，嚴(yán)重影響B(tài)GA封裝的可靠性。采用Ar和H2的混合氣體進(jìn)行幾十秒的在線式等離子清洗，可以去除焊接表面的污染物，降低焊點(diǎn)失效的概率，提高封裝的可靠性。
在線式等離子清洗機(jī)作為一種精密干法清洗設(shè)備，可以有效去除污染物，改善材料表面性能，且具有自動(dòng)化程度高，清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)勢(shì)。
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