小型等離子清洗機(jī)的設(shè)計原理

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2024-09-18

等離子清洗機(jī)可以實(shí)現(xiàn)對材料表面的清潔、活化、改性等處理，比如去除表面的污染物和有機(jī)物，在材料表面引入含氧極性基團(tuán)以增加親水性等。

小型等離子清洗機(jī)的設(shè)計原理

小型等離子清洗機(jī)是一種尺寸相對較小、適用于小規(guī)模處理或?qū)嶒?yàn)室環(huán)境的等離子清洗設(shè)備。小型等離子清洗機(jī)如圖1-1所示,設(shè)備的主要結(jié)構(gòu)由反應(yīng)腔(又稱真空腔)、真空系統(tǒng)、流量控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、電源系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。

小型等離子清洗機(jī)有很多種結(jié)構(gòu)型式,根據(jù)電極在放電室的位置區(qū)分,可分為外電極和內(nèi)電極;根據(jù)射頻電源的耦合方式區(qū)分,可分為電容耦合和電感耦合,如圖2-2所示。

圖2-2 射頻放電裝置示意圖

(a) 電容耦合; (b) 電感耦合

小型等離子清洗機(jī)各部分設(shè)計原理

反應(yīng)腔由真空室、高頻電極組成,是容納待處理樣品的場所,依不同的型號腔體有圓形和方形兩種;

真空系統(tǒng)負(fù)責(zé)將反應(yīng)腔內(nèi)的空氣抽凈并在工作時維持適當(dāng)?shù)恼婵斩?

流量控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)工作期間所需要的真空度以及通入清洗的工藝氣體;

真空測量系統(tǒng)用于檢測背底真空度和工作真空度的數(shù)值;

電源系統(tǒng)為反應(yīng)腔提供高頻信號和能量,以激發(fā)反應(yīng)腔內(nèi)的反應(yīng)氣體電離形成所需要的等離子體。

控制系統(tǒng)的作用是按照最優(yōu)的工藝參數(shù)和步驟控制設(shè)備的動作過程,并維持工藝參數(shù)的穩(wěn)定。小型等離子清洗機(jī)的處理功率一般可以在50~300W之間調(diào)節(jié)。