CCP電容耦合式等離子清洗機(jī)和ICP電感耦合等離子清洗機(jī)
文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2024-03-28
根據(jù)耦合方式分類(lèi)，等離子清洗機(jī)大致可以分為兩種，一種是CCP電容耦合等離子清洗機(jī)另一種是ICP電感耦合等離子清洗機(jī)。電容耦合大多采用內(nèi)置的平板電極模式，放電時(shí)在兩極板上加射頻電源，在兩極板間氣體激發(fā)產(chǎn)生等離子體。與之不同的是電感耦合大部分利用外電極放電，其原理是應(yīng)用電磁感應(yīng)將感應(yīng)線圈纏繞在放電腔體外部激發(fā)出二次電場(chǎng)，從而激發(fā)腔體內(nèi)的氣體產(chǎn)生等離子體。這兩種耦合方式各有優(yōu)劣。
電容耦合式等離子清洗機(jī) Capacitively Coupled Plasma
電容耦合式等離子體是發(fā)展最早、應(yīng)用最廣泛的等離子產(chǎn)生方式，大量應(yīng)用于清洗、刻蝕和表面改性。電容耦合式等離子體又稱(chēng)電場(chǎng)耦合式等離子體，其產(chǎn)生機(jī)理是在低氣壓條件下，加在兩極板之間的高頻電場(chǎng)電離氣體，產(chǎn)生穩(wěn)定的等離子體。由于電容極板位于真空室內(nèi)，帶電粒子在電場(chǎng)作用下以較高的動(dòng)能撞擊極板，非常容易發(fā)生極板濺射，限制了其在高潔凈、無(wú)污染環(huán)境中的應(yīng)用。
電容耦合式等離子清洗機(jī)它的優(yōu)點(diǎn)是：在電極之間獲得大面積較均勻的電磁場(chǎng)，產(chǎn)生均勻性較好的等離子體，可應(yīng)用于大面積的清洗工藝。
電感耦合式等離子清洗機(jī) Inductively Coupled Plasma
電感耦合式等離子清洗機(jī)是等離子研究后期出現(xiàn)的一種新型的方式，其機(jī)理是感應(yīng)線圈中的交流電場(chǎng)，在反應(yīng)室內(nèi)耦合感應(yīng)產(chǎn)生二次電場(chǎng)，在低氣壓狀態(tài)下激發(fā)產(chǎn)生等離子體。電感耦合式等離子體具有離子能量損失小、效率高、密度高等優(yōu)點(diǎn)，是極具發(fā)展?jié)摿Φ牡入x子體。電感耦合式等離子體經(jīng)多年研究，已在光譜分析和微電子刻蝕中成熟應(yīng)用，電感耦合式等離子體的電子回旋結(jié)構(gòu)與微波等離子系統(tǒng)非常相似，可以用于高端表面處理，例如刻蝕、濺射等，與微波等離子相比，電感耦合式等離子體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，因此研究廣泛開(kāi)展。電感耦合式等離子體很容易實(shí)現(xiàn)外電極結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)應(yīng)用于等離子清洗，可徹底解決了電容耦合式清洗設(shè)備的極板濺射問(wèn)題。
電感耦合式等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)在于反應(yīng)室內(nèi)無(wú)電極，無(wú)電極污染，且離子能量高，效率大大提升，同時(shí)離子密度也比電容耦合式提高1～2個(gè)數(shù)量級(jí)。電感耦合式等離子體離子的運(yùn)動(dòng)加速方向與被清洗件的切線方向平行，因此不會(huì)垂直轟擊被清洗件，對(duì)元件無(wú)損傷。
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