等離子清洗主要通過(guò)活性等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行物理轟擊或化學(xué)反應(yīng)等單一或雙重作用，從而實(shí)現(xiàn)材料表面分子水平的污染物去除或改性，能夠有效去除材料表面的有機(jī)殘留、微顆粒污染、氧化薄層等，提高工件表面活性，避免鍵合分層或虛焊等情況。
在線式真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹：
在線式真空等離子清洗機(jī)從上料、清洗到下料整個(gè)過(guò)程是一個(gè)全自動(dòng)化的過(guò)程，系統(tǒng)采用全自動(dòng)運(yùn)行方式，可與上下游生產(chǎn)工序連線，設(shè)備采用PLC模塊控制，其主要部件如圖1所示：包括反應(yīng)倉(cāng)體,射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng),真空系統(tǒng),上、下料傳動(dòng)系統(tǒng),氣路系統(tǒng),控制系統(tǒng),警報(bào)系統(tǒng)等。
圖一 在線式真空等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖
在線式真空等離子清洗機(jī)工作流程：
在線式真空等離子清洗一個(gè)周期的過(guò)程如圖2所示,當(dāng)點(diǎn)擊開(kāi)始按鈕后,放置好的產(chǎn)品將運(yùn)送至機(jī)械手取料區(qū)域,機(jī)械手臂上裝有一定位傳感器,自動(dòng)識(shí)別物料的位置,并從中抽取處物料放置在裝料平臺(tái)上,裝滿后,裝料平臺(tái)運(yùn)行至反應(yīng)倉(cāng)上部主體下閉合。抽真空開(kāi)始,當(dāng)反應(yīng)倉(cāng)體內(nèi)壓力降至左右時(shí),氣體控制閥打開(kāi),注入工藝氣體,氣體均勻充滿倉(cāng)體后,射頻電源開(kāi)啟,放電產(chǎn)生射頻等離子體,等離子體作用于物體表面污物,清洗完成后,射頻電源自動(dòng)關(guān)閉。此時(shí)真空泵關(guān)閉,倉(cāng)體內(nèi)壓強(qiáng)逐漸回升,達(dá)到平衡狀態(tài)。隨后反應(yīng)倉(cāng)閉合機(jī)構(gòu)下降，使裝料臺(tái)與反應(yīng)倉(cāng)分開(kāi)，裝料平臺(tái)下移運(yùn)送至卸料處。與此同時(shí),另一塊裝料臺(tái)開(kāi)始工作。
在線式真空等離子清洗機(jī)工作流程
在線式真空等離子清洗機(jī)與常規(guī)等離子清洗機(jī)相比有如下優(yōu)勢(shì)：
在線式真空等離子清洗機(jī)上下料過(guò)程采用全自動(dòng)機(jī)械執(zhí)行。標(biāo)準(zhǔn)等離子清洗機(jī)物料在反應(yīng)倉(cāng)的出入搬運(yùn)工作需要人工完成，每臺(tái)等離子清洗機(jī)需要配備一名操作工人進(jìn)行相應(yīng)控制。在線式真空等離子清洗機(jī)的上下料臺(tái)可以通過(guò)自動(dòng)搬運(yùn)單元與整個(gè)生產(chǎn)線的上下游設(shè)備的進(jìn)出口進(jìn)行無(wú)縫連接，從而達(dá)到完全屏蔽人工介入的自動(dòng)化清洗設(shè)備要求。
在線式等離子清洗機(jī)清洗效果更好，它具有高的生產(chǎn)效率，優(yōu)良的均勻性和一致性，由于清洗過(guò)程無(wú)人為干預(yù)，可以避免人為操作導(dǎo)致的二次污染。
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