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真空等離子體處理儀

真空等離子體處理儀NE-PE13FH

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE13FH
  • 性能特點(diǎn)：低溫，干式，環(huán)保
  • 產(chǎn)品用途：材料表面清洗，活化，改性，刻蝕
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  • 產(chǎn)品參數(shù)
真空等離子體處理儀主要進(jìn)行等離子體清洗、材料表面活化，表面微刻蝕及改進(jìn)材料表面的附著力的功能，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微電子封裝和生命科學(xué)設(shè)備等方面。它由13.56MHz射頻電源發(fā)生器、電子控制系統(tǒng)、自動(dòng)匹配系統(tǒng)和等離子體放電真空腔體四部分構(gòu)成。外接真空泵系統(tǒng)，配置兩路工藝氣體通道，可通入不同氣體，例如氬氣、氧氣、氮?dú)狻⒓皻錃獾取?br />
等離子體處理的原理是在真空狀態(tài)下給氣體施加電場(chǎng)，使氣體從氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)(包括電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子),利用等離子體中的大量活性粒子轟擊材料表面，將能量傳遞給材料的表層分子，使材料發(fā)生熱蝕、交聯(lián)、降解和氧化反應(yīng)并在表面產(chǎn)生大量自由基或引進(jìn)某些極性基團(tuán)，從而優(yōu)化材料表面性能。

產(chǎn)品特點(diǎn)：


符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面，操作更方便；
供氣系統(tǒng)采用高精度MFC質(zhì)量流量計(jì)來精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量；
自動(dòng)阻抗匹配，使得高頻發(fā)生器和負(fù)載阻抗能夠匹配以實(shí)現(xiàn)最大功率輸出；
其外觀美學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，操作簡(jiǎn)單快捷用戶只需通過控制面板設(shè)置相關(guān)參數(shù)，即可啟動(dòng)處理過程。此外，設(shè)備還具備完善的故障診斷和報(bào)警功能，便于用戶及時(shí)維護(hù)和保養(yǎng)；
具備精確的控制系統(tǒng)，能夠準(zhǔn)確調(diào)節(jié)等離子體處理參數(shù)，如流量、功率、處理時(shí)間等。這種精確控制確保了處理效果的穩(wěn)定性和一致性，滿足了不同材料和工藝的需求。
 
型號(hào) NE-PE13FH
功率 0-300W可調(diào)
等離子發(fā)生器 13.56 MHz，自動(dòng)阻抗匹配 
腔體材質(zhì) 316 不銹鋼
腔體容積 13.5L
腔體尺寸 240(L)*280(D)*200(H)mm
有效處理面積 210（L）×204（D）mm（8寸晶圓及以下）
處理層數(shù) 3層
氣體流量控制器 MFC質(zhì)量流量計(jì)， 0-300ML
氣路數(shù)量 2路（可增加）
極限真空度 1PA
真空測(cè)定系統(tǒng) 皮拉尼真空硅管 測(cè)量范圍：1.0×10 5 ～1×10 -1 Pa
真空泵 干泵/油泵（可選）
控制系統(tǒng) PLC+觸摸屏
電源供應(yīng) 220V
外形尺寸 553mm(L)×553mm(W) ×732 mm(H)

 

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